气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，管道氮气置换，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
(1)氮气置换过程中需密闭操作。提供---的自然通风条件。
(2)操作人员必须经过培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。现场配备泄漏应急处理设备。
(3)一旦氮气大面积泄漏，人员应迅速撤离泄漏污染区风处，并进行隔离，严格---出入
(4)应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气源要妥善处理，修复、检验后再重新置换。
(5)人员吸入氮气应迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外---按压术。---。
1、氮气置换设备的氮气衔接收。氮气衔接收是由厂家定型出产，管线直径为25毫米，它的耐压强度不低于6.4兆帕；在管的两头设有疾速接头。参阅规范规则和安全操作需求，管线描绘长度为15米，管线与管线之间由疾速接头衔接，在氮气衔接收线与氮气瓶衔接端设有压力表、单向阀（在替换氮气瓶时避免倒流）和闸口（是单向阀的弥补，当单向阀失掉作用时，操作此阀），由疾速接头衔接氮气瓶出口。
2、氮气置换设备的衔接收。衔接收的两头别离与事端槽车的液相管和处置事端集结来的空载槽车液相管衔接。管线是由厂家定型出产，燃气管道氮气置换氧含量，直径为50毫米，管道 氮气置换，它的耐压强度不低于6.4兆帕。参阅规范和安全操作需求，管线描绘长度为30米，为便于实地操作及管线的带着，描绘每10米长的管线3根，管线与管线之间、管线与槽车之间均由疾速接头衔接。
3、氮气置换设备的异径疾速接头。加工二个50mm变25mm的异径疾速接头。以备事端槽车因，气相管被液态吞没时运用。
4、氮气瓶。用于置换的氮气选用纯度为99.5%的一般氮气，气瓶规范为gb3864—83，容积为40升，管道氮气置换，压力为12±0.5mpa。
5、氮气置换设备的槽车。当时，遍及运用的汽车槽车主要是国产的，还有必定数量由国外进口的。
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