(1)管道系统全部按设计文件施工完毕;
(2)管道安装位置正确，数量齐全，紧固程度、干燥合格;
(3)施工前应对管线、阀门、设备进行检查，其开闭状态应符合要求，管道设备不准同时进行其他作业
(4)在施工现场立氮气---标志，未经许可人员禁止入内
(5)氮气置换首末端要采用大范围警示带提醒，如无法避免交叉作业时，应佩戴便携式气体检测仪
(6)有足够的空间摆放设备，空压机连接制氮设备稳固。氮气出口连接位置正确，标志明显。检查所有软管，管道 氮气置换，管件、接头和阀门的正确压力等级。控制和保护注气管和软管的安全
(7)用于检测管道末端氮气及氧气浓度用的气体分析仪的量程、精度等级、检定其符合要求，长输管道氮气置换，并备有当前校验---。
(8) 有经批准的氮气置换方案，施工人员经过技术交底。
(9) 对氮气置换前由于其它原因导致尾项---的要在检查中填写尾项记录，和相关人员确认签字，尾项消项后要经过确认。
(4) 结构设计分析。平面张弦梁结构的受力特 性实际上相当简支梁的受力特性。从截面内力情况 来看 ， 张弦梁结构与简支梁一样需要承受整体弯矩 和剪力效应。根据截面内力平衡关系 ， 张弦梁结构 在竖向荷载作用下的整体弯矩由上弦构件的压力和 下弦拉索的拉力所形成的等效力矩来承担。由于张 弦梁结构中通常只布置竖向撑杆 ， 且下弦拉索不能 承受剪力 ， 从 2 根竖向撑杆之间截面内力平衡关系 来看 ， 其整体剪力基本由上弦构件承受。因此上弦 构件除了整体弯矩效应产生的压力外还承受剪力以 及由剪力产生的局部弯矩效应。 (5) 结构设计分析结果。采用有限元分析软件 ansys 对张弦梁结构进行了强度及刚度分析 ， 得 到张弦结构中各种杆件的受压应力、拉应 力值、结构的位移和变形情况 ， 终确定结构的各 种杆件的截面尺寸。 (6) 作用分析。对张弦梁结构进行了自振 特性分析和时程响应分析 ， 获得结构前几阶控制周 期及其对应振型。从结构的时程响应和自振周期来
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，管道氮气置换，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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