长输管道氮气置换-管道氮气置换-念龙化工

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    2020-12-8

张经理
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科研实验室气路安装注意事项


1所有气体管路均由高、完全退火的无缝不锈钢管(ba及)制成。铜管仅在气体管路末端使用,对气体的纯

度要求不太严格。(例如通风橱).

2、气体安装管道不得敷设电缆和导线。

3.气体,如需要与其他气体分开引入。如果氢气管道与其他可燃物气体管道平行敷设,其间距不得小

于0.m交叉敷设时间间隔不得小于0.25米,分层敷设时氢气管道应位于上方.

4.压缩空气有净化装置,用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联连接,管道氮气置换,并通过单独的阀门分开,以

便于过滤装置的维护。

5.高纯度气体管路的连接是无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。

6、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7.应为通向工作台的气体管路安装单独的控制阀。各种气体控制阀应均匀排放在工作台上。建议在氨气管道前

安装气体净化装置。

8、每隔1.5米左右,气体管路需要一个支架。此外,根据气体管路弯曲半径,设置适当的支架位置。必须支持

所有弯曲。燃气管道安装管道的所有支架均应镀锌防腐处理。

科研气体管道材料和连接

1.气体管道纯度小于99.99%的应为10#或20#无缝钢管(内表面镀锌或净化处理)和铜管,镀锌管道带有螺纹。

2.总杂质含量s 10-100ppm的气体管道采用304不锈钢光亮退火管(304ba) 、304不锈钢管净化处理(304ap)

和紫铜管,管道通过焊接连接,可以使用对焊、承插焊或套管焊。

3.总杂质含量s 1-10ppm的气体管道采用316升不锈钢光亮退火管(316lba) 和304不锈钢电抛光管(304ep)

管道连接采用焊接、内壁无疤对焊和高纯气弧焊。

4.对于总杂质含量s1ppm的高纯度气体管道, 必须使用316升不锈钢电抛光管(3i6lep) .管道连接应采用焊

接、内壁无疤对焊和高纯氙气保护焊在---洁净室进行.例如, 管道po 2、ph 2、pn 2、arr、he和n 2是不锈钢

316厘泊管道。cd a采用不锈钢304ba管。





实验室气路安装3

(1)性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧,当环境温度达到一定时,ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高,如b 2h6的上限为98%,下限为0.9%。属于气体有h 2,nh3,ph3,dcs,clf3 。

(2)毒性气体(toxic gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3, b 2h6,ph3等气体的毒性---大,它们的阈限值tlv(threshold limited valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no,长输管道氮气置换, c4f6,c5f8 ,nf3,管道氮气置换,ch 3f等都属于毒性气体。

(3)腐蚀性气体(corrosive gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如hcl, hf, pcl3, sif4,clf3,wf6等。

(4)惰性气体(inert gas): 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害,在气体传输过程中,管道置换氮气,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6,cf4,sf6,chf 3等。

(5)氧化性气体(oxide gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ,cl2,nf3等。


(1)氮气置换过程中需密闭操作。提供---的自然通风条件。

(2)操作人员必须经过培训,严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。现场配备泄漏应急处理设备。

(3)一旦氮气大面积泄漏,人员应迅速撤离泄漏污染区风处,并进行隔离,严格---出入

(4)应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。漏气源要妥善处理,修复、检验后再重新置换。

(5)人员吸入氮气应迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧呼吸心跳停止时,立即进行人工呼吸和胸外---按压术。---。


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