（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，管道氮气置换，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，管道 氮气置换，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，管道氮气置换方案，nf3等。
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在---下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，中央试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
碰口施工
在碰口点1 处，采用机械切割方式对pe 管切割1 个小口，
小口处未发生燃烧或喷涌现象即可进行切割断管，管道置换氮气，后按
施工方案进行碰口施工，检查焊接直至合格。同理进行碰
口点2、3 处的碰口施工。施工完成后，开始进行氮气置换空气
作业。
氮气置换空气
首先关闭新建管道上x1、x1-1、x2 、x2-1、x3 阀门，然
后分三部分依次进行置换。
置换在运干管 ：关闭zf1、zf2 阀门，依次开启放散点4 的
火炬放散阀、调压器进口阀门、gf1-1 阀门，开始注氮，直至检
测合格后关闭前述开启的阀门。
置换新建管道 ：在x1-1( 放散点5)、x2-1( 放散点6) 放散
阀处连接放散火炬，依次开启放散点5 的火炬放散阀、x1-1、
x3、gf1-1 后开始注氮，直至检测合格后关闭前述开启的阀
门 ；打开放散点6 的火炬放散阀、x2-1、x3、gf1-1，直至检测
合格后关闭前述开启的阀门。
(3) 置换在运支管 ：对支管2 进行置换，依次开启放散点3
的火炬放散阀、调压器进口阀门、zf2、gf1-1 后开始注氮，直
至检测合格后关闭前述开启的阀门 ；同理对支管1 进行置换。
完成后，方可进行置换氮气作业。
天ran气置换氮气
同 5.4，本步骤分三部分依次进行置换。
置换在运干管 ：依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器
进口阀门，缓慢开启gf1 阀门并控制压力和流速，直至检测合
格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散火炬并恢复放散口
原貌，完全开启gf1 阀门。
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