管道置换氮气-念龙化工-管道氮气置换

氮气置换液化气流程

为了废碱性水的问题，在 2013 年

过程中，通过外引高压氮气（2.5 mpa）对

液化气脱---系统内部液化气进行置换处理。根

据液化气脱---装置的工艺流程，通过添加临时

线变通，从液化气脱---各设备顶部充压，底

部引出退料，退料液化气全部转入液化气缓冲罐

d-501，然后使用液化气 p-501 转进液化气罐区，

避免氮气进入液化气罐区，对罐区造成冲击。工

艺流程见图 1。因氮气密度比液态液化气轻，因

此临时配管退液化气线必须从各塔、罐底部引

出。

退液化气脱---系统中液化气的基本步骤

为：

1）高压（2.5 mpa）氮气经 p-504 出口沿催

化剂碱线进 c-501 塔顶，实现脱---装置液化气

系统充压。

2）c-501 充压至 1.2 mpa，氮气沿正序流程

--- e-503，后进水洗罐 d-503、沉降罐 d-504，

通过各设备底部临时管线，依次退净 e-503、

d-503、d-504 内液化气至缓冲罐 d-501。 3）c-501 退料通过催化剂碱液线转进 d-501，

c-501 退碱时，应---碱液退净，管道氮气置换，液化气退料线

上进下出，通过现场玻璃板以及现场流量计变化

情况判定是否压净。

4）d-502 充压：从 c-501 入口线经 e-502 倒

转进罐，尽量将管线内液化气置换干净，通过罐

底退水线转进 d-501，实现氮气上进下出，通过

现场玻璃板判定液化气是否压净。

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，长输管道氮气置换，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，燃气管道氮气置换，nh3，ph3，dcs，clf3 。

（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。

（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。

（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。