管道材料溶解到纯水 中的杂质浓度太低了 ， 使得许多仪器无法分辨 出来 有两种方法 尚 能相对地对管道材料做一些 比较 浸泡试验 这是将一定面积的管道材料严格清洗后 浸泡在超纯水中， 或将超纯水装 人经严格清 洗的 一 定 长 度的 管道 中， 经 一 定 时 间 的 浸 泡 ， 测定浸泡前后各种 离子和 toc的变化经计算可得到单位时间内单位面积的管道杂 质的释放里 ， 可 以做各种管材的相对 比较 用 将管道患矛切下显微镜观测管谁内壁 涪， 内璧戮徐金后用 电子显 徽镜观测 ， 观察材料表面 的徽孔 徽孔多易 于沉积徽拉和细蔺 观侧 资料证明， 管 道内壁相当光滑 ，管道置换氮气， 而 pp管内壁有 阳的0.3-1 微孔
工作原理：由于氮的化学性质不活泼，不容易与其它物质发生化学反应，以及氮气具有比轻的特性，利用氮气瓶的压力进行置换。
操作准备。首先，将事故槽车、新调槽车进行接地，以消除静电。其次，连接氮气置换装置。具体是：将氮气瓶出口通过直径为25mm的氮气管线与事故槽车气相管连接，管道 氮气置换，将空载槽车的液相管与事故槽车的液相管通过直径为50mm的管线连接。开始操作。开启氮气瓶等有关阀门进行置换。由于在氮气瓶出口处设有压力表、单向阀和闸门，所以，在逐一更换氮气瓶时较为方便。氮气置换装置，用于汽车改装检测设备，氮气置换设备用于将空气抽出进行氮气置换，抽真空对为-0.086mpa，抽完真空后置换氮气进去，氮气的压力为0.2mpa，氮气置换装置包含真空表，氮气压力表，高压管，底座四个移动轮等。
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，管道氮气置换，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，管道氮气置换，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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