高纯气休的翰送系统应该包括制造厂的 充灌葬里 ， 贮存容器 钥瓶或贮带 ， 运油描 车 ， 直到使用单位贮存设备、 传翰管道系娜直 到炉前管路 ， 亦即凡与高纯气体相接触的一 切设备、 管路 、 仪表 、 阀 门等 因 为高纯气体 在制取 以后 或纯化提纯 以后 的任何沾污或 输送系统管路阀门的 任何微 小泄 漏 ， 即使是 瞬时的恶化 ， 也是不 准许的 一 且沾 污要 回 复原状就相 当困难 如果是管路受到污染 回 复原状则 需相 当长时 间， 并导致庞 大 摄失 因此人们越来越重视提高高纯气体供应的每 一个环节的---性 和 质 监视 在 国外 ， 除 了改进空分装置直接 制取高纯 气体外 、 还着 重开发了大容童小体积的纯化装 置 随着---集成 电路集成度 的提高又 加 速 了各种气体输送系统的高沽净处理技术方 面做了大量工作 ， 形 成系列 产 品 诸如控制 配管 、 接头 、 阀门的 内表面粗糙度 减少 内表 面积 ， 减少使用另件的 漏 泄及 死 角 ， 改进和 提高洗净方法 ， 加强施工现场尘埃管理 ， ，‘减少 施工 时污垢物的混 人等 总之 ， 对高纯 气体 输送系统的设计 ， 施工及管理 日趋严格化 ， 引 起 人 们 普 遍 关 注 ， 我 们 借 鉴 下 面 一 张 关 于可以着出以污染为原因的图率缺陷--- 六成以上 ， 作为污染 的 内容主要是尘块引越 的断路和短路以及其它杂质引起户勺绝缘低劣 等 因此进行高纯气体翰送系统的设计施工 以及加强对这个系统的管理是理所 当然 的事 情 板国 内、 随着 电子产 品 的更新换狡和清 净技术的广泛应用为高纯气体配套的产品和 系统的管配件阀门已 不是不可能的事了 。 然 而要认真解决好高纯气 体的贮存 ， 输送技术 上的难题 ， 寻求更合理的供气方式加速老管 网的改造 ， 严格高纯气体输送系 统的管理 ， 找 认为还有 “ 再谈” 和交流的---‘
管道材料溶解到纯水 中的杂质浓度太低了 ，燃气管道氮气置换氧含量， 使得许多仪器无法分辨 出来 有两种方法 尚 能相对地对管道材料做一些 比较 浸泡试验 这是将一定面积的管道材料严格清洗后 浸泡在超纯水中， 或将超纯水装 人经严格清 洗的 一 定 长 度的 管道 中， 经 一 定 时 间 的 浸 泡 ， 测定浸泡前后各种 离子和 toc的变化经计算可得到单位时间内单位面积的管道杂 质的释放里 ，管道氮气置换， 可 以做各种管材的相对 比较 用 将管道患矛切下显微镜观测管谁内壁 涪， 内璧戮徐金后用 电子显 徽镜观测 ，燃气管道氮气置换方案， 观察材料表面 的徽孔 徽孔多易 于沉积徽拉和细蔺 观侧 资料证明， 管 道内壁相当光滑 ， 而 pp管内壁有 阳的0.3-1 微孔
(4) 结构设计分析。平面张弦梁结构的受力特 性实际上相当简支梁的受力特性。从截面内力情况 来看 ， 张弦梁结构与简支梁一样需要承受整体弯矩 和剪力效应。根据截面内力平衡关系 ， 张弦梁结构 在竖向荷载作用下的整体弯矩由上弦构件的压力和 下弦拉索的拉力所形成的等效力矩来承担。由于张 弦梁结构中通常只布置竖向撑杆 ， 且下弦拉索不能 承受剪力 ， 从 2 根竖向撑杆之间截面内力平衡关系 来看 ，长输管道氮气置换， 其整体剪力基本由上弦构件承受。因此上弦 构件除了整体弯矩效应产生的压力外还承受剪力以 及由剪力产生的局部弯矩效应。 (5) 结构设计分析结果。采用有限元分析软件 ansys 对张弦梁结构进行了强度及刚度分析 ， 得 到张弦结构中各种杆件的受压应力、拉应 力值、结构的位移和变形情况 ， 终确定结构的各 种杆件的截面尺寸。 (6) 作用分析。对张弦梁结构进行了自振 特性分析和时程响应分析 ， 获得结构前几阶控制周 期及其对应振型。从结构的时程响应和自振周期来
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