气体管件在安装时，燃气管道氮气置换，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
设计者应对“ 用户 ， 提出的设计要求进行 重新估价 ，管道置换氮气， 力求在技术上可行 ， 经济上合理 ， 对老管网 的改造工 程 还要 因地制宜 ， 考虑走 向合理和施工方便 上无十四厂的高纯气体 输送系统改造工程 由子技术夹层无法穿越管 道和进行焊接施工 ， 即采 用外墙 面敷设和 工 艺室 明管安装 、 尽管管道长了 ， 但施工方便和 焊接上的--- ， 达到 了改造 的予 期 效果 对 于部分老 管道 、 材--- 、 能置换干净而气密性 又好的就不该一律废 除 ， 但无论 是新老 管道 其方案设计的终都应该满足下列要求 、 系统可 靠 ， 能稳定供应和 输送高纯度 气体 ， 整个系统应该 防振动 ， 不 易 被 污染 ， 气 密性要妊、 能连续运行、 留有一定余量 采用 液 态输送则要---气源 充足 ， 若用 钢瓶气则要 ---钢瓶周转余地 、 有高度 的安全性 。 由于 洁净厂 房多 数是无窗厂房 生产 中消耗可 燃性气体和 溶齐咬又多 ， 因此输送系统的安全性---重要 。
1.按置换段管道或管段的增加公里---劳动量。2.按置换段管道或管段的水容量乘于置换的倍率---氮气使用量，考虑到工作压力、溫度等要素的危害，长输管道氮气置换，综合性取定1米3液氮汽化为650m3氮气。（比如：720管道64km，水容量26041，空管1.5倍39062.4方，换算为液氮为60方。）3.氮气做为预算定额的“未计费原材料”另算其原材料价格（要求：罐装氮气损耗量为10%，液氮损耗量为5%），罐装氮气价钱按工程项目所在城市价格行情，液氮按子公司內部统一价1800元/m3计。4.依据标准要求，站内机器设备及加工工艺管e5a48de589a67a6431333337613231道内汽体运用外站管道内氮气开展置换，若独立对某站场机器设备及加工工艺管道开展氮气置换，置换量为网站内部机器设备、管道水容量的10倍，按网站内部主计量检定管道的规格型号换算为管道的长短（若长短不够1km按1km计），计算方法为：l=（v机器设备 v管道）×10/（0.25×π×d2）（km）在其中：d——主计量检定管段內径。非常备注名称：（站场一般按20方---，管道氮气置换，约200方，不够0.5方液氮量，但一般按1方液氮计取。）5.dn400下列的管道是按氮气瓶集装箱阁气路或制氮车当场制氮气定编的，若dn200之内、dn300之内、dn400之内管道因工程项目实3际必须用液氮汽化开展氮气置换，则可替代dn600之内“液氮汽化气路置换”子目“5-3402”，但应乘于相对的换算指数对该预算定额开展换算，换算指数见下表：
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